UHV-Manipulator CF40, 200mm Verfahrweg, Schrittmotor
Produktbeschreibung
Z-Manipulator, DN40CF, 200mm Hub, 39mm ID, Flansch zu Flansch Abstand 120 … 320mm. Beweglicher Flansch mit Gewinde, Basisflansch mit Durchgangslöchern. Mit 2-phasen Schrittmotorantrieb (Oriental PKP 268) , Einstellgenauigkeit 1µm, mit verstellbaren mechanischen Endanschlägen. Max. Gesamtbauhöhe 410mm
| Vakuum-Eignung | |
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| Flanschtyp | |
| Flansch Name | |
| Flanschausführung |
