UHV-Manipulator CF40, 150mm Verfahrweg, Schrittmotor
Produktbeschreibung
Z-Manipulator, DN40CF, 150mm Hub, 39mm ID, Flansch zu Flansch Abstand 105 … 255mm. Beweglicher Flansch mit Gewinde, Basisflansch mit Durchgangslöchern. Mit 2-phasen Schrittmotorantrieb (Oriental PKP 268) , Einstellgenauigkeit 1µm, mit verstellbaren mechanischen Endanschlägen. Max. Gesamtbauhöhe 345mm
| Vakuum-Eignung | |
|---|---|
| Flanschtyp | |
| Flansch Name | |
| Flanschausführung |
